SJT 31124-1994 AEC-2200型常压CVD完好要求和检查评定方法
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B34029F2A7B84A58A420BE745EBCCAA9 |
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日期: |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,AEC - 2200开常压CVD完好要求,SJ/T 31124-94,和检查评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 AEC—2200型CVD的完好要求利检査、评定方法,本标准只适用于AEC—2200型CVD,2完好要求,2.1 主要技术性能指标,2-1.1热板温度分布均匀性:400 + 5 C ;,2.1.2 喷头喷射气体膜厚均匀性(片内、片间、批间):0. 70レm,△アなイ%,2.1.3 CVD膜表面质址应在本无发花.即(). 5F以上的颗粒每片应〈1()个;,2.1- 4气密性检查:21.96乂1()ロ.2411漏气应小デ4.9/.1()ヤい,2.1.5质设流量计显示数字跳动:土 1格,2-2操作系统,2- 2-1各操作开关,按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,2.2- 2限位装世齐全,灵敏可靠,2.3传 动系统,2- 3-I上、下料传动装置运行可靠,2. 3.2各皮带,滚轮,滚珠,链条等灵活可靠,2-3.3热板运行速度平稳可靠,2. 3-4喷气头支承髙度调搐机构灵活可守,2-4飞路系统,2-4-1各气缸、气动阀、电磁阀、流量计工作正常,2.4- 2 Nハ(ス表头工作正常,指示正确、误差在允许范围内,且有有效期检验合格证,2.4- 3气体各连接头管道,阀门元件之间联接牢固,无漏气和堵塞现象,2.5电 气系统,2-5-1电气箱内清洁.布线整齐,线路无破损老化。各种线路标志明显,联接可享,2. 5-2自动保护及报警装置齐全,工作正常。各加热控制部分安全可靠,,2- 5- 3各指小灯齐仝"完整,指示正确,各按钮开关灵活可堂,各仪表指示正确.工作可可,2- 5.4各电压、电流表头指示正确,误差在允许范围内,且有有效期内校验合格证,2. 5.5加热控制部分安全可靠,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,SJ/T 31124—94,下载,2.6微机控制系统,2. 6-I各开关、按钮、操作键完整无损、动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保持完整,功能,齐全、性能稳定、工作状态良好,显示清的,2. 6.2显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,2. 6-3输入/输出程序正确无误,2.6.4装置内部清洁,布线整齐,线路无老化,破裂,各线路标志齐全、正确,2.7安全防护,2. 7-1电器绝缘装置良好,2. 7.2各防护盖板安装牢固,齐全,完整,2. 7.3门帘开关工作良好。排毒气装置工作可靠,2.8维护保养,2. 8.1确保设备内外清洁,整齐,无碎硅屑片及杂物,无油垢,无锈蚀,2. 8- 2其它按ST/T 31002-94《设备维护保养通则》执行,3检查、评定方法,3.1 检查方法,3.1.1 对热板温度分布均匀性用HL—300温度计测试热板表面10个点取平均值,3.1.2 膜厚分布均匀性用AFF200膜厚测试仪进行检测硅片,3.1.3 对〇. 以上颗粒小于10颗,采用镜检方法执行检査,3.1.4 对其它项目采用现场主观方法进行检査,3.2 评定内容,3. 2-1主要项目2. 1. 1,2.1. 2,2. 1. 3,2. 1. 4,2. 1. 5,其余均为次要项目,3. 2-2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项口有二项不符合要求,亦为不完好,设备,3.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体改司提出,本标淮由中国华晶电子集团公司组织起草,本标准主要起草人:张晨辉、范建超、顾军建、吴正伟,2……
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